涂布与运动
围绕狭缝涂布头、基底支撑及运动模组,确认有效涂布区域、间隙、速度和来料差异。
SLOT-DIE COATING
把供液、运动与湿膜质量放在同一个工艺窗口内。

EQUIPMENT OVERVIEW
面向钙钛矿、半导体和平板显示薄膜制备,围绕大面积涂布均匀性、基底差异与配方窗口进行设备和工艺匹配。
基底差异、供液波动与涂布运动之间的耦合,会让小样配方在大面积基底上出现厚度分布、边缘状态与重复性差异。设备选型需要同时讨论材料体系和后续干燥、结晶条件。
讨论设备选型 ↗PROCESS ROUTE
以下为方案讨论流程,实际工序、模块与顺序以材料工艺和项目方案为准。
MODULES & FUNCTIONS
依据公司资料整理,并补充工程选型需要确认的内容;不代表所有模块为标准配置。
围绕狭缝涂布头、基底支撑及运动模组,确认有效涂布区域、间隙、速度和来料差异。
讨论溶剂体系、黏度、供液稳定性与材料兼容性,配液、清洗及废液边界按项目明确。
公司资料提出激光膜厚检测和动态闭环方向;检测方式、采样位置、反馈策略与标定条件需共同确认。
把涂布完成后的等待时间、转运条件与 VCD、退火配方一并定义,避免只验收单机动作。
TECHNICAL INFORMATION
资料中的数值必须与机型、样品、区域、方法及运行条件对应。下表不代替产品规格书或项目技术协议。
| 项目 | 资料信息 / 设计方向 | 项目确认条件 |
|---|---|---|
| 涂布均匀性 | 资料列示 ≤2% | 须明确样品、有效区域、测点及计算公式。 |
| 运动精度 | 资料列示 2 μm | 须明确运动轴、行程、负载和测量方法。 |
| 样品膜厚结果 | 8 组 25 点测试:1.52%–1.97% | 属于资料中的样品结果,不等同全部机型保证值。 |
| 尺寸与产能 | 公司资料描述研发至 m² 级工段 | 单机适配尺寸与节拍以实际方案及技术协议为准。 |
INTEGRATION & ACCEPTANCE
PROJECT INPUT
VERIFICATION PLAN


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