深圳市珀光达智能科技有限公司高端薄膜制造核心装备 / PEROVSKITE & SEMICONDUCTOR

SLOT-DIE COATING

高精度狭缝涂布机

把供液、运动与湿膜质量放在同一个工艺窗口内。

PODAR / PROCESS TO PRODUCTION工艺 × 装备 × 数据
高精度狭缝涂布机
公司资料展示设备

EQUIPMENT OVERVIEW

设备定位与应用

面向钙钛矿、半导体和平板显示薄膜制备,围绕大面积涂布均匀性、基底差异与配方窗口进行设备和工艺匹配。

钙钛矿半导体平板显示

需要解决的工艺问题

基底差异、供液波动与涂布运动之间的耦合,会让小样配方在大面积基底上出现厚度分布、边缘状态与重复性差异。设备选型需要同时讨论材料体系和后续干燥、结晶条件。

讨论设备选型 ↗

PROCESS ROUTE

把设备放回工艺链路。

以下为方案讨论流程,实际工序、模块与顺序以材料工艺和项目方案为准。

  1. 01

    基底与配方确认

  2. 02

    供液与涂布窗口设定

  3. 03

    狭缝涂布

  4. 04

    膜厚检测与偏差分析

  5. 05

    衔接 VCD / 退火

MODULES & FUNCTIONS

组成模块与功能方向

依据公司资料整理,并补充工程选型需要确认的内容;不代表所有模块为标准配置。

MODULE / 01

涂布与运动

围绕狭缝涂布头、基底支撑及运动模组,确认有效涂布区域、间隙、速度和来料差异。

MODULE / 02

供液与配方

讨论溶剂体系、黏度、供液稳定性与材料兼容性,配液、清洗及废液边界按项目明确。

MODULE / 03

检测与控制

公司资料提出激光膜厚检测和动态闭环方向;检测方式、采样位置、反馈策略与标定条件需共同确认。

MODULE / 04

工段协同

把涂布完成后的等待时间、转运条件与 VCD、退火配方一并定义,避免只验收单机动作。

TECHNICAL INFORMATION

技术信息,连同条件一起说明。

资料中的数值必须与机型、样品、区域、方法及运行条件对应。下表不代替产品规格书或项目技术协议。

资料信息与项目确认条件
项目资料信息 / 设计方向项目确认条件
涂布均匀性资料列示 ≤2%须明确样品、有效区域、测点及计算公式。
运动精度资料列示 2 μm须明确运动轴、行程、负载和测量方法。
样品膜厚结果8 组 25 点测试:1.52%–1.97%属于资料中的样品结果,不等同全部机型保证值。
尺寸与产能公司资料描述研发至 m² 级工段单机适配尺寸与节拍以实际方案及技术协议为准。

INTEGRATION & ACCEPTANCE

从输入条件,走向可执行的验收。

PROJECT INPUT

选型前建议准备

  • 基底材质、外形、厚度、翘曲与有效涂布区域
  • 溶液组分、溶剂、黏度、目标湿膜/干膜厚度
  • 涂布缺陷判定、边缘范围与批次重复性要求
  • 上下料方式、干燥/退火衔接与目标节拍

VERIFICATION PLAN

验收与验证讨论

  • 约定有效区域与25点或其他测点布局,统一均匀性计算方法。
  • 以明确的材料、环境、速度和批次条件开展涂布验证。
  • 分别记录运动指标、膜厚结果、缺陷和工段衔接,不以单次样品替代连续验证。

LET’S BUILD YOUR NEXT PROCESS

把材料、样品与工艺目标带入选型。

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