运动与腔体
资料提出平面式运动模组与腔体协同，关注运动过程中的气流一致性及有效沉积区域。
SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION
空间型 ALD 设备
围绕材料、运动与气流协同，定义原子层沉积方案。
PODAR / PROCESS TO PRODUCTION工艺 × 装备 × 数据
EQUIPMENT OVERVIEW
设备定位与应用
面向薄膜沉积中的均匀性、低损伤与维护需求，通过平面运动模组、腔体和模块化喷淋结构开展工艺开发。
需要解决的工艺问题
沉积质量、气体利用、运动过程和维护频次相互关联。对低损伤、均匀性和可维护性的要求，应与材料体系、基底和膜层评价方法一起讨论。
讨论设备选型 ↗PROCESS ROUTE
把设备放回工艺链路。
以下为方案讨论流程，实际工序、模块与顺序以材料工艺和项目方案为准。
- 01
确认材料与基底
- 02
定义气体 / 前驱体方案
- 03
设定运动与沉积路径
- 04
膜厚和材料性质评价
- 05
清洗维护与工艺复现
MODULES & FUNCTIONS
组成模块与功能方向
依据公司资料整理，并补充工程选型需要确认的内容；不代表所有模块为标准配置。
喷淋与通气
模块化喷淋、通气结构和喷气板为资料所述方向；具体结构需在工艺与安全评估后确定。
材料工艺
资料覆盖 SnO₂、Al₂O₃ 方向；前驱体、温度、膜厚、基底耐受性及材料性质需分项确认。
维护与集成
讨论模块清洗、更换、检修空间和上下料；维护周期依据材料、运行工况与记录评估。
TECHNICAL INFORMATION
技术信息，连同条件一起说明。
资料中的数值必须与机型、样品、区域、方法及运行条件对应。下表不代替产品规格书或项目技术协议。
| 项目 | 资料信息 / 设计方向 | 项目确认条件 |
|---|---|---|
| 沉积材料 | 资料列示 SnO₂ / Al₂O₃ | 目标成分、膜厚及膜层性质按实际工艺确认。 |
| 均匀性 | 资料列示 1% | 缺少完整测量条件，作为讨论依据而非通用承诺。 |
| 机构方向 | 平面式运动 + 模块化喷淋 | 行程、速度、气流与腔体方案按项目设计。 |
| 维护与成本 | 按运行工况评估 | 不将资料中的对比比例发布为普适保证。 |
INTEGRATION & ACCEPTANCE
从输入条件，走向可执行的验收。
PROJECT INPUT
选型前建议准备
- 基底材质、尺寸、耐温及表面状态
- 沉积材料、目标厚度、均匀性与材料性质要求
- 前驱体与气体供应、排气和现场安全边界
- 上下料方式、连续运行和维护窗口
VERIFICATION PLAN
验收与验证讨论
- 明确有效沉积区域、膜厚测点与均匀性公式。
- 按约定方法评价膜层成分、致密性或所需功能指标。
- 以实际运行记录讨论清洗和维护，不以单次试验外推长期周期。
CONNECTED EQUIPMENT
与这些工段一起讨论。
LET’S BUILD YOUR NEXT PROCESS
把材料、样品与工艺目标带入选型。
技术咨询 / 联合开发 / 设备采购 / 中试验证 / 工程交付