基底 AOI
公司资料覆盖划伤、污染与外观缺陷；具体缺陷定义、样本和判定阈值需联合确认。
INLINE MULTIMODAL INSPECTION
在线多模态检测方案
让外观、发光和电性能数据对应同一片样品。
PODAR / PROCESS TO PRODUCTION工艺 × 装备 × 数据
EQUIPMENT OVERVIEW
设备定位与应用
将外观、发光成像和电性能检测与工艺参数关联，支持薄膜及组件缺陷识别、异常报警和质量追溯。
需要解决的工艺问题
不同检测工位若缺少统一样品编码、触发和时间基准，缺陷与工艺参数很难关联。在线检测方案应先定义检测对象、缺陷标准和数据用途，再匹配传送和检测模式。
讨论设备选型 ↗PROCESS ROUTE
把设备放回工艺链路。
以下为方案讨论流程，实际工序、模块与顺序以材料工艺和项目方案为准。
- 01
样品识别 / 工位触发
- 02
AOI 外观检查
- 03
PL / EL 发光成像
- 04
IV 等性能采集
- 05
缺陷判定与质量追溯
MODULES & FUNCTIONS
组成模块与功能方向
依据公司资料整理，并补充工程选型需要确认的内容；不代表所有模块为标准配置。
PL / EL 成像
围绕发光均匀性、暗区、针孔与失效区开展评价；激发、接触、曝光条件按样品确定。
IV 与光学检测
资料列示电性能、透过率及外观检测方向；根据工位需求选择，不默认全部模块同时安装。
质量数据
关联设备状态、工艺参数、报警和良率统计；AI分析效果以约定样本集与复核规则评价。
TECHNICAL INFORMATION
技术信息，连同条件一起说明。
资料中的数值必须与机型、样品、区域、方法及运行条件对应。下表不代替产品规格书或项目技术协议。
| 项目 | 资料信息 / 设计方向 | 项目确认条件 |
|---|---|---|
| 检测组合 | AOI / PL / EL / IV / VIS 等方向 | 按材料、器件结构与工位选择检测模块。 |
| 样品范围 | 资料描述实验及大面积量产方向 | 尺寸、接触方式与传送姿态按机型确定。 |
| 检测节拍 | 按检测模式与样品核定 | 资料存在不同速度口径，不能混作同一设备指标。 |
| 缺陷与数据 | 缺陷识别 / 报警 / 追溯 | 最小缺陷、误报漏报及数据接口需技术协议定义。 |
INTEGRATION & ACCEPTANCE
从输入条件，走向可执行的验收。
PROJECT INPUT
选型前建议准备
- 样品尺寸、结构、透明度与接触限制
- 缺陷清单、缺陷样本、判定规则与复核方式
- 产线节拍、停拍/连续模式及触发信号
- 样品编码、图像保存、MES字段和反馈权限
VERIFICATION PLAN
验收与验证讨论
- 使用双方确认的样本集评价检出、误报和漏报，保留人工复核记录。
- 在约定检测组合、曝光和运动模式下验收节拍。
- 检查样品ID、图像、性能和工艺参数是否可对应、查询与导出。
CONNECTED EQUIPMENT
与这些工段一起讨论。
LET’S BUILD YOUR NEXT PROCESS
把材料、样品与工艺目标带入选型。
技术咨询 / 联合开发 / 设备采购 / 中试验证 / 工程交付