PROCESS & VALIDATION
25点膜厚测量记录
公司资料列示8组25点膜厚测试，各组样品的膜厚均匀性结果为1.52%–1.97%。
PODAR / PROCESS TO PRODUCTION工艺 × 装备 × 数据
8组样品膜厚均匀性记录 / %
第01组1.79%
第02组1.61%
第03组1.90%
第04组1.52%
第05组1.97%
第06组1.79%
第07组1.70%
第08组1.80%
资料为每组25点测量；测点原始数据、年份及计算口径尚需补齐，不能据此单独复算。
LET’S BUILD YOUR NEXT PROCESS
让测试条件，成为技术沟通的共同语言。
技术咨询 / 联合开发 / 设备采购 / 中试验证 / 工程交付